激光共焦显微镜OLS5100

型号

OLS5100-SAF

OLS5100-SMF

OLS5100-LAF

OLS5100-EAF

总倍率

54x–17,280x

视场

16 µm–5,120 µm

测量原理

光学系统

反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
颜色
彩色DIC

光接收元件

激光：光电倍增管（2通道）
彩色：CMOS彩色相机

高度测量

显示分辨率

0.5 nm

动态范围

16位

重复性σn _-1^{*1 *2 *5}

5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm

准确度^{*1 *3 *5}

0.15 + L / 100μm（L：测量长度[μm]）

拼接图像准确度^{*1 *3 *5}

10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm])

测量噪声（Sq噪声）^{*1 *4 *5}

1 nm（典型值）

宽度测量

显示分辨率

1 nm

重复性3σ_n-1 ^{*1 *2 *5}

5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm

准确度^{*1 *3 *5}

测量值+/- 1.5%

拼接图像准确度^{*1 *3 *5}

10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接长度[mm]）

单次测量时最大测量点数量

4096 × 4096像素

最大测量点数量

3600万像素

XY载物台配置

长度测量模块

•

不适用

不适用

•

工作范围

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动

300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动

最大样品高度

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

30 mm (1.2 in.)

30 mm (1.2 in.)

210 mm (8.3 in.)

激光光源

波长

405 nm

最大输出

0.95 mW

激光等级

2级（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）

彩色光源

白光LED

电气功率

240 W

240 W

278 W

240 W

质量

显微镜主体

约 31 kg

约 32 kg

约 50 kg

约 43 kg

控制箱

约 12 kg